高浓度含氟化物废气通过两级换热之后，达到一定温度后经过to直燃炉进行高温氧化，产生氟化氢等废气，氟化氢有极强腐蚀性，所以TO炉需要做好防腐蚀性工作，本公司选择强大的耐腐蚀材料作为浇铸料，分两次浇铸完成，达到高强度、高耐腐蚀的效果，保证后期设备的使用寿命；废气经过1000℃的高温氧化后，再次进入两级换热，与进气的低温废气进行冷热交换后经过急冷塔，在急冷塔的作用下，温度降至常温，常温的废气经过两级碱洗，达到酸碱中和，达标的中性废气通过烟囱排入大气。另外控制系统上：设备采用多监控点位监控，可通过手机端等终端设备在线查看设备使用状态，控制系统内部采用以太网通讯方式，PLC与触摸屏、上位机等采用以太网通讯方式，废气治理设备也可以通过以太网与厂内其他系统进行通讯和数据交换，且TO前设置LEL在线检测装置（检测精度±5% F.S）和VOCs浓度传感器，控制废气进入TO的浓度＜25%LEL， 设置二级报警点，达到一级报警点提示系统检查，当达到二级报警点时，连锁控制开启新鲜空气阀，当报警持续20s时，系统紧急停车。